【高精度欠陥検出】ウエハ外観検査・測定装置
各種ウェハの表裏面およびエッジ・ノッチ部分の各種欠陥を独自の光学技術を駆使して、顕微鏡でも発見しづらい、微小な欠陥や、なだらかな凹凸などを検出します。
また、鏡面に限らず、エッチング面やBG痕などの様な粗さのある面の中のキズ、クラック、汚れなどの欠陥の検出が可能です。
昭和電気研究所では既存の撮像技術だけでなく、お客様のウェハや見つけたい欠陥に合わせて最適な光学系の模索を日々行っております。
対象欠陥例
ウエハ表裏面：キズ・異物・クラック・汚れ・スリップ・結晶欠陥・面荒れ・面焼け・研磨痕・膜残りなど。
エッジ部：チッピング・クラック・ブリッジ痕・膜剥がれ・白曇り、結晶の異常成長など。
関連商品・技術情報
商品基礎情報
主な特長
ウェハクラック検査装置
ウェハを薄くする段階で入ってしまい目視では見つけ辛いクラックを独自の撮像技術により、検出することが可能です。
また、撮影はローディング時にウェハの横幅一杯を一度でスキャンして撮像する為、高スループットでの検査が可能です。(特許取得済)
①薄ウェハの十字クラック(表面) ②薄ウェハの十字クラック(裏面) ③薄ウェハの十字クラック(裏面)
主な特長
ウェハ欠陥検査装置
ウェハの表裏面の検査装置。
鏡面だけに限らず、エッチング面やBG痕などの様な粗さのある面の中のキズ、クラック、汚れやスリップなどの結晶欠陥、面焼けなどの加工ミスの検出が可能です。
①CMP研磨後のキズ ②微細キズ ③梨地の中のキズ ④梨地の中の汚れ ⑤極薄汚れ
⑥BG痕のミス ⑦スリップ
主な特長
エッジ・ノッチ検査・測定装置
エッジを特殊光学系を用いることで全周を高速・高品位な画像で検査することが可能。
エッジのシルエット画像による形状評価や今まで観察が困難であったノッチ部分の欠陥検出も可能です。
また、貼り合わせウェハなどの貼り合わせズレ(xyθ)やウェハの直径測定、テラス・トリミング幅、ノリのはみ出しなど、貼り合わせウェハ特有の測定にも対応。
①エッジAPEXキズ ②エッジAPEX白濁 ③ノッチ暗視野(白い輝点は1μmPSL粒子)
④ノッチAPEX明視野 ⑤プロファイル ⑥-1 貼合せズレ測定画像 ⑥-2 トリミングプロファイル画像
ウエハ欠陥撮像事例集
実際に撮像したウエハ欠陥の撮像事例をご紹介します。
