ナノ/マイクロフォーカス3次元X線CTシステムのラインナップと各製品のスペック

ナノ/マイクロフォーカス3次元X線CTシステムのラインナップと各製品のスペック

こちらのページでは、ユー・エイチ・システム社のナノ/マイクロフォーカス3次元X線CTシステムのラインナップ と撮影事例をご紹介いたします。ユーセントリック機構、3次元斜めCT機能など独自の技術をベースに、超高倍率での透過/CT撮影が可能な装置をご用意いたしております。

3次元X線CTシステム ラインナップ

ユー・エイチ・システムでは超高分解能/広視野/コストパフォーマンスなど機能別に優れたモデルをご用意しております。

型式 M-A352AD10 M-A552AC1 M-A552AR1
XVA-160αⅡ XVA-160R EVA-160
ディテクタ イメージインテンシファイア/フラットパネルディテクタ フラットパネルディテクタ
本体寸法(mm) 本体(WxDxH)
※突起含まず
1,400x1,846x1,999 1,200x1,510x1,670 1,800x1,736x1,600
デスク(WxDxH) 1,200x700x700/1,600x700x700
ステージサイズ(mm) 490x490 430x460 660x670
ストローク(mm) 310x310 350x350
ステージ回転角度(°) -10〜370 ±190
カメラ傾斜角度(°) 0〜60 0〜70

【超高分解能】3次元X線CTシステム XVA-160αⅡ

【超高分解能】3次元X線CTシステム XVA-160αⅡ

超高倍率(2000番)、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した、超高分解能モデルです。
標準仕様
・4Mピクセルカメラ(イメージインテンシファイア) /
 フラットパネルディテクタ
・ユーセントリック機能
・超高倍率(2000倍)
・フォーカスサイズ切り替え機能(250/800nm)
・可視光マッピング機能
・高精細トップテーブル
・光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能

【コストパフォーマンスモデル】マイクロフォーカス3次元X線CTシステム XVA-160R

マイクロフォーカス3次元X線CTシステム XVA-160R

倍率1000倍まで対応の高精度ステージを備えた、コストパフォーマンスに優れたモデルです。
・3Mピクセルカメラ(イメージインテンシファイア) /
 フラットパネルディテクタ
・ユーセントリック機能
・高倍率(1000倍)
・可視光マッピング機能
・フォーカス自動調整機能

【大型基板対応】マイクロフォーカス3次元X線CTシステム EVA-160

マイクロフォーカス3次元X線CTシステム EVA-160

500mm基板も搭載可能な大型ステージを採用した、大型サンプル向けモデルです。
・フラットパネルディテクタ
・ユーセントリック機能
・大型ステージ搭載(500mm基板対応)
・可視光マッピング機能
・フォーカス自動調整機能

【CE規格対応】マイクロフォーカスX線CTシステム XVA-160CE

従来の高分解能X線CT装置 XVA-160RZの“CE規格”の対応機です。
デザインを一新し、従来機よりも省設置スペースを実現しました。(従来比30%減)
透過・CT両機能を兼ね備えたデスクレス仕様のオールインワンNEWモデルです。

マイクロフォーカスX線CTシステム XVA-160CE

・X線管電圧:160kV
・フラットパネルディテクタ搭載
・ステージサイズ:430mm×460mm
・ステージストロークサイズ:310mm×310mm
・ユーセントリック機能
・可視光マッピング機能、ティーチング機能
・3次元斜めCT、直交CT機能をどちらも搭載可能

共通オプション

直交CTユニット

ステージへの取付だけで簡単に直交CT撮影も可能です。(高倍率対応)

リフローシミュレーター

基板を加熱し、はんだ溶融状態をX線で観察可能なオプションです。常温~400℃の加熱に対応しており、N2(窒素)の注入も可能です。

3次元X線CTシステム 撮影事例

ナノ/マイクロフォーカス3次元X線CTシステムにて撮影した透過/CT画像例です。

ワイヤーボンディング根本の異物(透過画像)
電子部品実装状態(透過画像)
基板スルーホールはんだ付け状態(透過画像)
多層基板のファインパターン(透過画像)
多層基板の内層状態(CT画像)
リードフレーム間のエレクトロマイグレーション(CT画像)