3次元X線CTシステムのラインアップと各製品のスペック

•  ナノオーダーのフォーカスサイズ: 250nmのフォーカスサイズにより、半導体・電子部品の非常に微細な構造や欠陥を詳細に観察できます。
• 超高倍率: 2000倍の倍率を実現しているため、微小な欠陥や構造を高精度で検出できます。
• 3D可視化: 最先端の半導体パッケージの内部構造を3Dで可視化できるため、複雑な内部構造の解析が容易です。
• 微細接合箇所の検査: マイクロバンプやTSVなどの微細接合箇所の欠陥を高拡大でCT撮影できるため、品質管理が向上します。

【標準仕様】

• フラットパネルディテクタ
• ユーセントリックステージ機構
• 超高倍率(2000倍)
• フォーカスサイズ切り替え機能(200/800nm)
• 可視光マッピング機能
• 高精細トップテーブル
• 光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能

• 高精度検査: 倍率1000倍まで対応しているため、微細な欠陥や異常を詳細に検出できます。
• ユーセントリックステージ機構: 実装基板の中心から端部まで均一に検査できるため、全体の品質管理が向上します。
• コストパフォーマンス: 高性能でありながらコストパフォーマンスに優れているため、導入コストを抑えつつ高品質な検査が可能です。
• 汎用性: 半導体、電子部品、パワーモジュール、実装基板など、さまざまなアプリケーションに対応できるため、幅広い業界で活用できます。

【標準仕様】

• フラットパネルディテクタ
• ユーセントリックステージ機構
• 高倍率(1000倍)
• 可視光マッピング機能
• フォーカス自動調整機能

• 中間モデルの利点: 高分解能モデルと汎用モデルの中間に位置するため、コストパフォーマンスと性能のバランスが良いです。
• ナノフォーカスX線発生器: 高精細な透視画像やCT画像を取得できるため、微細な構造や欠陥の検出に優れています。
• 多用途対応: 幅広いアプリケーションに対応できるため、さまざまな業界で活用できます。

【標準仕様】

• フラットパネルディテクタ
• ユーセントリックステージ機構
• 超高倍率(2000倍)
• フォーカスサイズ切り替え機能(200/800nm)
• 可視光マッピング機能
• 高精細トップテーブル
• フォーカス自動調整機能

•  広範囲の検査: 大型基板全体をカバーできるため、基板の隅々まで詳細な検査が可能です。
• 高精度な検査: 中心から端部まで均一な精度で検査を行うことができ、品質管理が向上します。
• 効率的なプロセス: 一度のセットアップで広範囲を検査できるため、時間とコストの削減に繋がります。

【標準仕様】

• フラットパネルディテクタ
• ユーセントリックステージ機構
• 高倍率(1000倍)
• 可視光マッピング機能
• フォーカス自動調整機能