ナノ/マイクロフォーカス3次元X線CTシステムのラインアップと各製品のスペック
商品基礎情報
3次元X線CTシステム ラインアップ
ユー・エイチ・システムでは超高分解能/広視野/コストパフォーマンスなど機能別に優れたモデルをご用意しております。
| 型式 |  |
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| XVA-160αⅡ | XVA-160R | EVA-160 | ||
| ディテクタ | イメージインテンシファイア/フラットパネルディテクタ | フラットパネルディテクタ | ||
| 本体寸法(mm) | 本体(WxDxH) ※突起含まず |
1,400×1,846×1,999 | 1,200×1,510×1,670 | 1,800×1,736×1,600 |
| デスク(WxDxH) | 1,200x700x700/1,600x700x700 | |||
| ステージサイズ(mm) | 490×490 | 430×460 | 660×670 | |
| ストローク(mm) | 310×310 | 350×350 | ||
| ステージ回転角度(°) | -10〜370 | ±190 | ||
| カメラ傾斜角度(°) | 0〜60 | 0〜70 | ||
【超高分解能】3次元X線CTシステム XVA-160αⅡ
【超高分解能】3次元X線CTシステム XVA-160αⅡ
超高倍率(2000番)、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した、超高分解能モデルです。
標準仕様
・4Mピクセルカメラ(イメージインテンシファイア) /
フラットパネルディテクタ
・ユーセントリック機能
・超高倍率(2000倍)
・フォーカスサイズ切り替え機能(250/800nm)
・可視光マッピング機能
・高精細トップテーブル
・光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能
【コストパフォーマンスモデル】マイクロフォーカス3次元X線CTシステム XVA-160R
マイクロフォーカス3次元X線CTシステム XVA-160R
倍率1000倍まで対応の高精度ステージを備えた、コストパフォーマンスに優れたモデルです。
・3Mピクセルカメラ(イメージインテンシファイア) /
フラットパネルディテクタ
・ユーセントリック機能
・高倍率(1000倍)
・可視光マッピング機能
・フォーカス自動調整機能
【大型基板対応】マイクロフォーカス3次元X線CTシステム EVA-160
マイクロフォーカス3次元X線CTシステム EVA-160
500mm基板も搭載可能な大型ステージを採用した、大型サンプル向けモデルです。
・フラットパネルディテクタ
・ユーセントリック機能
・大型ステージ搭載(500mm基板対応)
・可視光マッピング機能
・フォーカス自動調整機能
【CE規格対応】マイクロフォーカスＸ線CTシステム XVA-160CE
従来の高分解能X線CT装置 XVA-160RZの“CE規格”の対応機です。
デザインを一新し、従来機よりも省設置スペースを実現しました。（従来比30%減）
透過・CT両機能を兼ね備えたデスクレス仕様のオールインワンNEWモデルです。
マイクロフォーカス3次元X線CTシステム XVA-160CE
・X線管電圧：160kV
・フラットパネルディテクタ搭載
・ステージサイズ：430mm×460mm
・ステージストロークサイズ：310mm×310mm
・ユーセントリック機能
・可視光マッピング機能、ティーチング機能
・3次元斜めCT、直交CT機能をどちらも搭載可能
共通オプション
直交CTユニット
ステージへの取付だけで簡単に直交CT撮影も可能です。(高倍率対応)
リフローシミュレーター
基板を加熱し、はんだ溶融状態をX線で観察可能なオプションです。常温～400℃の加熱に対応しており、N2(窒素)の注入も可能です。
3次元X線CTシステム 撮影事例
ナノ/マイクロフォーカス3次元X線CTシステムにて撮影した透過/CT画像例です。
ワイヤーボンディング根本の異物(透過画像)
電子部品実装状態(透過画像)
基板スルーホールはんだ付け状態(透過画像)
多層基板のファインパターン(透過画像)
多層基板の内層状態(CT画像)
リードフレーム間のエレクトロマイグレーション(CT画像)