インフォメーション SEMICON JAPAN2022出展のお知らせ

2022年12月14日〜12月16日開催

丸文株式会社は12月14日(水)から16日(金)まで行われる「SEMICON JAPAN2022」に出展いたします。
当社、丸文のブースではドライエッチングやプラズマCVDといった装置に使用する高周波関連の測定機材（BIRD社他）や、AIを活用した異常検知・予知保全システム、渦電流式変位計を提案いたします。

次世代RF測定とAIを活用した異常検知・予知保全システム

【対象者】ドライエッチングやプラズマCVDといった装置の保全や、歩留まり改善に課題をお持ちの方へ。
【展示品】
・【精度±0.5%】超高精度RFパワーセンサ（下図）
・【チャンバ内の実効電力モニタ】非50Ωライン測定ソリューション
・【AIを活用した異常検知・予知保全システム】製造業に特化した直感GUIかんたんAI開発ツール

デバイス設計評価、完成品検査など様々な場面で活用できる多機能測定器

【対象者】検査工程やデバイス開発・設計分野において、ユーザビリティの高い測定器をお探しの方へ
【展示品】
・ポータブル多機能測定器 / Liquid Instruments社
・ハンディアナライザ / BIRD社

渦電流式変位計"ギャップセンサ"

【対象者】装置内の位置決めセンサを搭載ご検討のお客様、研磨機等のトルク計測によるプロセス管理をしたいお客様
【展示品】
株式会社電子応用製ギャップセンサは非接触で変位、位置、振動、回転数を高精度に計測します。センサはお客様の取付環境に合わせ、1本から特注形状の制作が可能です。真空等の特殊環境に対応した特注実績もございます。装置内の搭載としては位置決め用途で実績がございます。
展示会場ではセンサの特注例などをお見せしますので、是非お越しください。
また、併せて解析装置のトルク計測によるプロセス管理(研磨機向け)もご提案いたします。
・非接触式変位計
・ギヤアナライザ

• 展示会名：SEMICON JAPAN2022
• 会期：2022年12月14日（水）から16日（金）
  10:00〜17：00
• 会場：東京ビックサイト
• 丸文ブースNo.：東5ホール No.5212
• 「SEMICON JAPAN2022」公式サイト
• 事前登録の申し込みはこちら

会場案内図