超高密度大気圧プラズマ発生装置 Tough Plasma FPF20

超高密度大気圧プラズマ発生装置 Tough Plasma FPF20

世界最高峰の処理能力を有する超高密度大気圧プラズマ発生装置です。超高速にもかかわらず、低温処理を実現!! 又、量産に最適な装置であり、自己監視機能を充実させています。

Tough Plasma FPF20の特長

1) 高密度ラジカル

反応性の高いラジカル粒子を高密度に生成するので、高速に処理でき、生産性の向上に寄与します。

2) 低温処理

Tough Plasmaは、照射ガス温度が低い為、耐熱性の低い材料にも安心して使用できます。

3) 充実した自己監視機能