日本エフイー・アイ|リアルタイムロックイン発熱解析装置 ELITE -基本仕様-

日本エフイー・アイ|リアルタイムロックイン発熱解析装置 ELITE -基本仕様-

『ELITE解析®』とは、半導体・電子部品・実装基板などにおけるリーク・ショートの故障部位を非破壊でピンポイントに特定することが可能な技術です。
故障解析の初期段階で、故障部位と正確に特定することで、その後の解析業務を大幅に効率化します。
こちらのページではELITEの基本仕様及びオプション類をご紹介いたします。

ELITE 基本構成

高感度赤外線カメラとロックイン電源を搭載したELITEはジョイスティックによる高い操作性と幅広いアプリケーションに対応する汎用性を兼ね備えた構成になっております。
小型の電子部品から実装基板及び大型モジュールまで測定テーブルにセットすることが可能で、各種オプション類により様々な測定に対応しております。

ELITE

《基本構成》
高感度赤外線カメラ
電動ターレット:6ポジション
電動XYZテーブル:XYストローク 150mm
         Zストローク 540mm
ロックインソフトウェア
標準筐体

《主なオプション》
レンズ:ワイドアングル・1倍・5倍・10倍
ロックイン電源:20V~10kV
マニュアルマニピュレータ
針当て用顕微鏡
レーザマーカ
サーマルチャック

レンズ仕様表

ELITEには最大4本のレンズを取り付けることができます。
200×160mmの広い視野(ワイドアングルレンズ)から0.96×0.77mm(×10倍レンズ)の視野まで拡大することができます。

ロックイン電源仕様表

ELITEには各種ロックイン電源を取りそろえております。
小型電子部品から高耐圧パワーデバイス(最大10kV)まで測定対象ワークに合わせたロックイン電源の選択が可能です。
1.1kV以上の電源を選択する場合はインターロック機能による安全対応を施してあります。

ELITE Lite

高性能なELITEと、コストパフォーマンスが高いELITE Liteの2つの製品をご用意しています。
ELITEは10kVまでの高電圧や、微小な発熱の検出が必要なアプリケーションに対応し、ELITE Liteは手動のレンズ交換と40Vまでのロックイン電源でのアプリケーションに対応しています。

ELITE-Lite

ELITE 300 New!!

ELITE 300 は300㎜ウェハをそのままセットし、解析対象のチップにプロービングすることが可能なシステムです。
ガントリー構造の赤外線カメラステージによる解析対象のICダイへのナビゲーション及びフォーカス調整が可能です。また本システムはテスタとドッキングし、対象チップの動的解析が可能と同時に、100℃まで加熱したサーマルチャックにセットしたウェハの高温解析が可能です。

ELITE 300

《基本構成》
高感度赤外線カメラ
電動ターレット:6ポジション
レンズ:ワイドアングル・1倍・5倍・10倍
CCDカメラ×1
LMS×1
赤外線カメラ搭載電動ステージ(XYZ軸)
ウェハ搭載マニュアルテーブル(XYZθ軸)
プローブカードアダプタ

《主なオプション》
サーマルチャック:Max100℃
ロックイン電源:20V~10kV
レーザマーカー

ELITE300 〜テスター駆動によるロックイン発熱解析の有効性〜 New!!

ELITE300はテスターとのドッキングが可能です。接続テスターの駆動により測定対象物に刺激を与え、不良箇所以外との差異を抽出することで故障部位の可視化が可能となります。

テスター接続イメージ図

《主な使用用途》
動的故障解析
開発時における信頼性障害の早期発見
3D/2.5Dパッケージ接続部の不良解析

ELITE300 レーザマーカーオプション New!!

ELITE で検出した欠陥部位にレーザマーキングすることで物理解析時の位置確認が容易になります。レーザ光と同軸のCCDカメラで観察しながらポジショニングするため、マーキングポイントの位置決めは容易です。