日本エフイー・アイ｜リアルタイムロックイン発熱解析装置　ELITE　-基本仕様-

高感度赤外線カメラとロックイン電源を搭載したELITEはジョイスティックによる高い操作性と幅広いアプリケーションに対応する汎用性を兼ね備えた構成になっております。
小型の電子部品から実装基板及び大型モジュールまで測定テーブルにセットする事が可能で、各種オプション類により様々な測定に対応しております。

• 多様なレンズオプション: 最大6本のレンズを取り付けることができ、200×160mmの広い視野から0.96×0.77mmの高倍率視野まで対応可能です。これにより、さまざまな解析ニーズに柔軟に対応できます。
• 高分解能・高品質な画像: 最新オプションのレーザースキャニングマイクロレンズ(LSM)を装着することで、従来のサーマルレンズに比べて、より高分解能・高品質な画像を取得できます。これにより、微細な欠陥や構造を詳細に観察することが可能です。

• 多様なロックイン電源: 小型電子部品から高耐圧パワーデバイス（最大10kV）まで、測定対象ワークに合わせたロックイン電源を選択できます。これにより、幅広いアプリケーションに対応可能です。
• 安全対応: 1.1kV以上の電源を選択する場合、インターロック機能による安全対応が施されているため、高電圧測定時でも安全に使用できます。

高性能な ELITE と、コストパフォーマンスが高い ELITE Lite の２つの製品をご用意しています。

【ELITE】

• 高電圧対応: 最大10kVまで対応しており、高耐圧パワーデバイスの解析に最適です。(ELITE-VX)
• 微小発熱検出: 微小な発熱の検出が可能で、精密な故障解析に役立ちます。

【ELITE Lite】

• コストパフォーマンス: 手動のレンズ交換と40Vまでのロックイン電源に対応しており、コストパフォーマンスに優れています。
• 汎用性: 小型電子部品や低電圧アプリケーションに適しており、幅広い用途に対応可能です。”

高感度赤外線カメラにレーザースキャニングマイクロレンズ（LSM）を付加し、OBICH反応検出機能を追加した革新的なオプションです。以下の利点があります。

• OBICH反応検出: 高感度赤外線カメラにより、OBICH反応を検出することで、ICダイ回路上の発熱箇所や異常箇所を正確に特定できます。
• 高解像度オーバーレイ: ELITEの赤外線画像とLSMで取得した高解像度のICダイ回路のスキャン画像をオーバーレイすることで、回路上の欠陥部位を高拡大・高分解能で特定できます。
• 精密な故障解析: この技術により、微細な欠陥や異常を詳細に観察でき、半導体故障解析の精度が大幅に向上します。

LSM（レーザースキャン顕微鏡）およびOBIRCH（光ビーム誘起抵抗変化）機能をELITEに追加することで、電気的短絡箇所や関連する欠陥を高解像度の画像で検証することが可能です。
これにより、従来のELITEの機能を補完し、さらに進化した解析手法を提供致します。